晶振片，一般用5Mhz，6Mhz兩種標定頻率， 金、銀（用于高熱負荷過程）和減壓合金（用于電介質材料和半導體過程的光學涂膜）。
一、晶振片介紹
金：是最廣泛使用的傳統材料，它具有低接觸電阻，高化學溫定性，易于沉積。適合于鍍低應力膜料，如鍍Al、Au、Ag、Cu等。
銀：適合于鍍高應力膜料，如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼等。
銀鋁合金：適合于鍍介質光學膜，MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。
為了提高晶振片的穩定性，增加電極膜與石英晶片的附著強度，我司根據經驗總結在鍍電極材料之前，先鍍一層鎘（Cr）效果更好。在使用性能不變的情況下金銀合金電極膜比金電極膜使用壽命更長。
二、晶振片型號參考
晶振片用的比較多的品牌是美國進口的inficon， maxtek和fil-tech晶振片。常規規格、型號表格如下：
Maxtek Crystals |
零件號 | 說明 |
0.550 in. (14 mm) Diameter | 與大部分傳感器（INFICON、Maxtek、Sigma、Sycon 等）兼容 |
103200-2 | SC-101 6 MHz 晶體，金，每盒 5 顆 |
103204 | SC-150 5 MHz 晶體，金，每盒 5 顆 |
103220 | SC-101 6 MHz 晶體，金，每盤 10 顆 |
103221 | SC-102 6MHz 晶體，銀，每盤 10 顆 |
103240 | SC-105 6 MHz 晶體，合金，每盤 10 顆 |
103222 | SC-150 5 MHz 晶體，金，每盤 10 顆 |
103223 | SC-151 5 MHz 晶體，銀，每盤 10 顆 |
0.550 in. (14mm) Dia - Balzers | 與 Balzers 傳感器兼容 |
103207 | SC-153，5 MHz，銀，Balzers 式，每盒 5 顆 |
103224 | SC-152 5 MHz 晶體，金，Balzers 式，每盤 10 顆 |
0.490 in. (12.5 mm) Diameter | 與 Ulvac 和 Sloan 傳感器兼容 |
186201 | SC-161 5 MHz 0.490 in. 晶體，金，每盤 10 顆 |
186200 | SC-160 5 MHz 0.490 in. 晶體，銀，每盤 10 顆 |
INFICON Crystals |
零件號 | 說明 |
6 MHz INFICON Crystals | 直徑 0.550 in. (14 mm)，每包 10 顆晶體 |
008-010-G10 | 6 MHz 金，潔凈室兼容包裝 |
008-009-G10 | 6 MHz 銀，潔凈室兼容包裝 |
750-679-G1 | 6 MHz 合金，潔凈室兼容包裝 |
750-1000-G10 | 6 MHz 金，平板圓盤包裝 |
750-1001-G10 | 6 MHz 銀，平板圓盤包裝 |
750-1002-G10 | 6 MHz 合金，平板圓盤包裝 |
SPC-1093-G10 | 6 MHz 金，緊湊型包裝 |
750-1014-G10 | 6 MHz 銀，緊湊型包裝 |
750-1015-G10 | 6 MHz 合金，緊湊型包裝 |
SPC-1157-G10 | 6 MHz 金，熱震，潔凈室兼容包裝 |
SPC-1194-G10 | 6 MHz 金，熱震，平板圓盤包裝 |
5 MHz INFICON Crystals | 直徑 0.550 in. (14 mm)，每包 10 顆晶體 |
750-225-G2 | 5 MHz 金，潔凈室兼容包裝 |
750-226-G2 | 5 MHz 銀，潔凈室兼容包裝 |
750-678-G1 | 5 MHz 合金，潔凈室兼容包裝 |
750-1005-G10 | 5 MHz 金，平板圓盤包裝 |
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